Специфичният поток на процеса на OLED дисплеи на базата на силиций може да бъде разделен на пет части, а именно процес на задна равнина (производство на задната плоскост), процес на отлагане на пари, процес на опаковане, процес на тялото на екрана и процес на модул:
(1) Изработка на резервна плоча на водача: Задните плочи на CMOS, необходими за OLED на базата на силиций, се изработват с помощта на полупроводникови процеси, последвани от използването на физическо отлагане на пари, отлагане на химически пари, процеси на експозиция и разработка на жълта светлина, процеси на офорт и други техники за създаване на слоеве на отразяване на анод и анодни ограничителни слоеве.
(2) Процес на изпаряване: Включва главно почистване на субстрата, изпаряване на органични материали и изпаряване на катодния материал.
(3) Процес на опаковане: Първо, опаковката на OLED филми на базата на силиций е произведена с помощта на PECVD и ALD оборудване; След това, чрез спин покритие на органични цветни филтърни материали с жълта светлина, трите основни цвята (R, G, B), необходими за производството на OLED на базата на силиций, са изложени и разработени за завършване на процеса на оцветяване.
(4) Технология на тялото на екрана: Главно включва рязането и почистването на големи екранни парчета, както и етапите на електрическа и визуална проверка. След преминаването на проверката те се съхраняват в склада.
(5) Процес на модул: Чрез почистване, адхезивно свързване, рязане, проверка на външния вид, свързване, лепило покритие, проверка на външния вид и тестване, той се съзрява и пакетира за съхранение след преминаване на проверката.